SiH4
硅烷（SiH4）
工业与工艺气体工艺与特种气体
数据完整度
6
硅烷，分子式 SiH4，分子量 32.118；半导体 CVD 硅源，自燃性气体。常压沸点 -111.5℃。
- 典型用途
- 半导体制造、掺杂与刻蚀、工艺保护与化工合成
- 英文名
- Silane (SiH4)
怎么读数值：≥ / ≤标准保证值，可当验收依据典型值手册 / 厂商常见值，仅供参考置信度 A–FA 已核原文 · D 手册值 · F 公认常数
关键性能速览
★ 气体物性强烈依赖温度与压力，每个值都标了测试温度；常压数据不可直接用于加压工况- 密度 ρ
- 0.001g/cm³C0 ℃
- 动力粘度 μ
- —
- 导热系数 k
- —
- 比热容 cp
- —
- 声速 c
- —
- 沸点
- -111.5CC
热处理状态与交货状态
GAS默认
说明
101.325 kPa、20℃；液化/加压工况的物性不适用
物理性能
密度 ρ0.001g/cm³
公开物性表转录值，非标准保证值，不作为设计取值；实际工况请核对原始数据表
特种气体公开物性表（纽瑞德 / 智义气体 / 南大光电 / ULVAC）交叉；分子量 32.118，临界温度 -3.4℃。半导体 CVD 硅源，自燃性气体。
热性能
沸点-111.5C
公开物性表转录值，非标准保证值，不作为设计取值；实际工况请核对原始数据表
特种气体公开物性表（纽瑞德 / 智义气体 / 南大光电 / ULVAC）交叉；分子量 32.118，临界温度 -3.4℃。半导体 CVD 硅源，自燃性气体。
凝固点-185C
公开物性表转录值，非标准保证值，不作为设计取值；实际工况请核对原始数据表
特种气体公开物性表（纽瑞德 / 智义气体 / 南大光电 / ULVAC）交叉；分子量 32.118，临界温度 -3.4℃。半导体 CVD 硅源，自燃性气体。
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